
完全蒸留アルゴン空気分離装置
導入
全精留アルゴン製造プロセスには、多段精留塔を通したアルゴンの精製が含まれます。その中核となるプロセスは、粗アルゴン塔と微粉アルゴン塔の 2 段階精留システムで構成されます。-アルゴン留分 (8% ~ 12% のアルゴンを含む) は空気分離ユニットの蒸留塔から抽出され、粗アルゴン塔で一次精留を受け、酸素含有量が 2.5% から 2 ppm 未満に減少します。次に、微細アルゴンカラムに入り、窒素を 3 ppm 以下まで除去し、最終的に純度 99.999% の液体微細アルゴンを生成します。

プロセス原理
アルゴンの完全蒸留は、酸素、アルゴン、窒素の沸点の差に基づいて分離を行います [2]。酸素の沸点 (-183 度 ) はアルゴン (-185.7 度 ) と窒素 (-195.8 度 ) の間にあります。このプロセスは、次の 3 つの分離段階に分かれています。
酸素・アルゴン分離ステージ
粗アルゴン塔 I (運転圧力約 0.15MPa) を使用して、アルゴン留分の酸素含有量を 90% ~ 91% から 2.5% まで低減し、さらに粗アルゴン塔 II で 2ppm 以下まで蒸留します [3]。
アルゴン窒素分離ステージ
精製アルゴン塔 (運転圧力 0.75 ~ 0.85MPa) では、液体窒素冷源による凝縮により窒素含有量が 3ppm 以下に低減されます [2-3]。
不純物の徹底的な除去
2 段粗アルゴン塔構造を採用して装置の高さを低くし、分割蒸留により残留酸素を削減します。
パラメータ
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メイン空気分離システムとのマッチング関係 |
アルゴン生成物の純度 |
アルゴン抽出率 |
精製アルゴン塔の使用圧力 |
製品出力フォーム |
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アルゴンの生成は酸素の生成の約 5% ~ 12% です |
99.999% Ar 以上 |
85%以上 |
常圧または低圧 |
主に液体アルゴン (LAr)₂ |
(参考のみ)
メリットのまとめ
安全で信頼できる
従来のプロセスの水素リスクを完全に排除するため、最新の空気分離プラントの最初の選択肢となります。
高純度品
生成されたアルゴンガスは自然に乾燥していて純粋であり、最高級の産業ニーズを直接満たします。
運用経済性
継続的な水素と触媒の消費が不要になり、長期的な運用コストが削減されます。{0}}
安定性と信頼性
簡素化されたプロセス、高度な自動化、少ないメンテナンス量、高い稼働率。
該当する業界
完全な蒸留アルゴン製造装置は、大規模な高純度アルゴン ガス産業に必要なインフラストラクチャです。--
ステンレス鋼および金属の精錬
ステンレス鋼の精錬に使用されるアルゴン酸素脱炭(AOD炉)プロセスの中核原料です。アルゴンガスの最大の応用分野です。
01
半導体と太陽光発電
単結晶シリコンおよび多結晶シリコンの結晶成長プロセス中の保護およびドーピング雰囲気。アルゴンガスの純度要件、特に微量の水分と酸素の含有量は非常に厳しいです。
02
ハイエンド溶接
TIG/MIG 溶接シールドガス。航空宇宙および精密機器の製造に使用されます。
03
照明と特殊ガラス
ハイエンドの光源(LED、特殊電球など)や断熱ガラス中空層の充填に使用されます。{0}
04
研究と実験室
超高純度の不活性雰囲気を必要とするさまざまな分析機器や実験プロセス。{0}
05
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