特殊ガス

高純度酸素-は、空気分離装置によって極低温分離および精製プロセスを通じて得られる超高純度酸素製品です。{{1}その純度は通常、99.5% (工業-グレードの高純度) から 99.9995% (電子-グレードの超-高純度) の間です。

-高純度窒素は、空気分離装置によって極低温蒸留および精製プロセスを通じて生成される重要なガス製品です。その純度は通常、窒素含有量が 99.999% 以上 (酸素含有量が 10 ppm 以下) を指し、電子グレードの用途では純度が 99.9999% 以上に達することもあります。-

-高純度アルゴンは、化学反応性が極めて低い無色無臭の不活性ガスです。これは空気分離装置の主生成物ではなく、主蒸留塔から抽出される高価値の副生成物です。-